AMFT-PLS-A

【主要特点】

• 具备多阴极等离子体源和射频共振等离子体源研制

• 多种气体电离

【典型应用】

• 等离子体发生装置

• 镀膜、材料处理

【产品主要参数】

• 高密度

• 稳态运行